微孔加工是一种广泛应用于精密制造领域的特殊工艺。它为工程师提供了微尺度的工程精度和工作准确度要求。因此，微孔加工工艺对制造各种产品、特殊机械、诊断器械及仪器类等精密工程制品具有重要意义。

微孔加工的主要工程设备有铣床、磨床、内圆磨床、钻床、火花机以及电火花机等。用于微孔加工的主要精密工具各类刀具、模具及粒度低于1μm的切削磨料有普通磨料和金刚砂等。

良好的加工精度，是微孔加工技术的重要特点。这需要采用高精度、低功耗的精密工具，并结合运动控制技术和精密测量技术获得。例如，当要求微孔加工加工精度超过室温10℃时，常用的精密热控仪实现微孔加工中温度的控制。

微孔加工工艺的主要步骤有：晶圆分板、正确定位、孔洞拉伸、装设装配、最终精密检查等。晶圆分板是将微孔加工的晶圆材料切割成一定厚度的片，具体厚度要求根据工程要求来决定，以便进行后续工艺。正确定位是指根据用户设计的要求，借助精密测量仪进行定位。然后，设备上装设高精度的孔洞拉伸装置，对材料的平面孔洞进行孔洞拉伸加工。最后，运用最新的计算机辅助检测系统，对精度进行最终检查。

总而言之，微孔加工技术具有高精度、高精密度、耐高温，工程及商业上具有重要意义。因此，企业应积极采用微孔加工技术，生产出高质量高精度的产品，以满足市场需求。