微孔加工是指采用机械或光刻等技术，在电子元件或微型装置的薄膜表面上形成的纳米等离子尺寸的孔。微孔加工技术有两个基本功能，一是提高微结构的力学强度，二是改变薄膜表面制造出特殊的孔洞，为深入到薄膜的特性提供可能。

微孔加工技术的进步为微流体分析注入新的活力，