微孔加工是在微米或纳米尺度上制备精密结构的微米加工技术。它可以制备复杂的毛细结构，如微米导管、微孔板、微孔窗等。这项技术具有良好的多功能性、UU可靠性、高分辨率和宽容度等优点，被广泛用于制造、生物医学、功能材料、光学、微电子，以及其他各种科学与工程领域中。

微孔加工一般要使用适当的工艺方法来实现微孔的制备，如精加工，激光切割，照射，暴露等。精加工是一种最常见的方法，它可以使用希勒