微孔加工是一种新型的微纳制造工艺，其孔径在70微米以下，具有高精度和良好可控的缺陷特性。它可以用于制备微型模具、机械零件、仪器结构和一些特殊尺寸精密器件。由于微孔加工制造出来的精密微孔具有非常精细的尺寸，所以此类工艺技术在微纳制造领域里受到了广泛关注。

微孔加工的技术基础是基于电火花，电火花微孔加工机能将原材料加工成不同的孔径尺寸，通过改变参数可以改变孔径，电火花微孔加工孔径可以达到几百微米或更小，具有精度高、灵敏度好、稳定等优点。

另外微孔加工还可以通过电子束蒸发、激光加工等技术来实现，电子束蒸发微孔加工具有孔径小、良好精度等特点，但是它受材料性能和物理性质的限制，不能识别复杂形状的结构。而激光加工微孔加工，有效地解决了这个问题，可以很好地加工复杂的孔径，但它的费用也较高。

总之，微孔加工技术具有等离子焊接、电火花加工、激光切割等优点，具有高精度、耐磨、耐切削、耐低温等特性，具有广泛应用，能够满足微纳制造技术领域的不同要求。