微孔加工是近年来在微等离子束技术中非常重要的一种技术。它广泛应用于材料研究领域，可以改变材料结构、改变其热电性能等多种性能。它的原理是在特定温度和厚度的材料表面上通过微等离子束投射能量以达到改变材料表面的目的。

微孔加工可以改变材料表面特性，增加湿润，降低表面粗糙度，改善材料对外界污染物的抵抗能力，增强结合力，改变散热性能，改变光学特性和材料电气特性。

微孔加工技术的发展促进了微等离子束技术的发展。它可以有效改变材料表面结构，增加表面活性，使材料更易于被制作薄膜，在方向固定的制作条件下加速制作进程。

截至目前，微孔加工技术在材料研究医学、航空航天、服务工业、储存技术、加工制造等多种领域得到了广泛应用。未来，它将继续发挥重要作用。越来越多的应用将促进微孔加工技术的发展。