微孔加工技术是一种精密加工技术，其应用于不同类型的器件制造，已经广泛应用于仪器精密制造行业。微孔加工技术主要包括电火花加工、激光加工和冲孔等，通过改进加工方法实现精密加工。

电火花加工是使用电火花断续抛射电弧和超硬磨芯实现的，可用于形成各种细小的空洞，如微孔、大微孔、类微孔和拉丝等，其优点是孔加工能力强、成型质量好、可靠性高、节能省材，加工件可在较高速率和低耗材的情况下实现产量的提高。

激光加工是将激光以高脉冲或连续状态加以到加工表面上，可以形成更复杂的微孔、更深的微孔、多孔结构、非连续的拉丝或形状微孔等，它的优点是加工速度快，在一维调模术和二维模糊切削技术使用可以提高工件表面精度，并使装配间隙减少，从而提高产品的性能可靠性和可用性。

冲孔是将金属材料中的孔通过超声波中心推动形成的穿孔技术，可以实现精确的加工夹具，各种复杂形状的精密加工件，且便于实现小孔加工，可以以较小的成本、高效的定位模式和加工技术进行精密制造。

微孔加工技术的发展，大大推动了仪器精密制造行业的飞跃和发展，它可以提高端产品的性能、可靠性和可用性，使仪器精密制品的装配间隙更小，质量更高、应用更广泛，回报更大。