微孔加工是精密加工中的一类，其加工特征在于X方向尺寸的巨大缩小，同时还能够获得相应的表面质量。微孔广泛用于无源元件、微电子元件、微机电元件等不同领域，在微纳电子、微机械、光子学等领域得到了广泛的应用。

随着技术的不断发展，现代微孔加工技术已经探索到了更高的效率和尺寸的极限。例如，日立早期所研制的微孔加工设备，可以实现全步距200nm，并可以获得表面粗糙度低于1nm的精确结果。此外，还有采用激光技术的激光微孔加工设备，其特点在于可以实现四维插补和超九轴对位技术，在未来，也有望进行超微精密加工的尝试。

此外，在微孔加工过程中，实际加工精度的进一步提高取决于加工刀具的性能，具体来说，可以采用小直径、硬度高的钻头，以获得更高的精确度。此外，对于微型孔径，还可以进行化学和化学反应刻蚀，以便更好地满足各种加工需求。

从当前的发展看，微孔加工已经成为精密加工领域的重要组成部分，而近年来的新型微孔加工技术则更加探索了超微尺寸的加工方式，以达到超精密、超高性能加工的要求。因此，微孔加工技术不仅可以满足各种行业的加工要求，还可以有望将精密制造技术进一步发挥到极致，实现以微为本的超微精密加工。