微孔加工是将细小孔看作结构元素的一种技术。微孔加工的典型应用是制造精密配合组件，用于制造电子和光学元件、微机械部件以及复杂表面结构。它可以形成固定尺寸、低表面粗糙度，耐腐蚀，可缩小组件尺寸并有效地改善功能性的微型结构而不降低其质量。

常见的微孔加工技术有金相磨削、激光加工、电子束加工和微粒加工等。金相磨削是一种细精度、细小孔径加工技术，可以用有节奏性的研磨过程反复精磨工件表面，以达到满足质量要求的加工效果。激光加工是一种使用激光束解决微细孔径要求的技术，可以快速精准地实现事物加工。电子束加工则是通过电子束的作用来制备微细结构和孔径的技术，能满足小型精密结构的加工要求。微粒加工是一种新型的粉体加工技术，可以快速精准地利用微粒对工件表面进行研磨。

微孔加工的优势在于：可实现精密的多变形，仪器台面高度的调整灵活性，可以在多种材料上实现高质量加工，并能实现可调式节拍、冷却工艺和手动操作模式的设定。

总之，微孔加工是一种高精度、高质量，可以在一定精度要求、粗糙度提高上实现多功能，使结构元件具有最优组合性的一种技术。最重要的是，它可以有效改善微机械组件的功能性性能，从而更有效地利用有限的设计空间。