微孔加工是一种精密加工技术，它利用电子束刻蚀、电气化学加工、等离子体刻蚀、水刀布置或高压水流加工等技术制作在表面上的细微孔洞，其孔径大小可达到1到100微米，通常用于製造微型的传感器、微细零件、微型電子元件等。

微孔加工技术具有许多优点，可以制造出具有高密度、高精度和高性能的微型组件。电子束刻蚀的加工深度大，可实现无模制造；高压水流加工具有良好的精度和效率；等离子体刻蚀无需加工模具，制作精度高；电化学加工可以精确控制孔形尺寸，加工速度快，操作简便，应用广泛。

微孔加工技术正受到越来越多工业应用的关注，并在航空航天、军事船舶领域等获得了广泛应用，加工零件非常精确、效率非常高，甚至可以实现超精密（ultraprecision）加工。

以上就是微孔加工技术的功能特点和应用，它不仅可以制造出具有更高精度、更高效率的微型组件，还可以使用超精密加工解决精密加工的问题。在日益激烈的竞争环境中，微孔加工技术得到了工业界的广泛应用。