微孔加工技术是一项重要的加工技术，在微机电系统（MEMS）的开发和集成制造中广泛应用。微孔加工以其良好的表面精度和尺寸精度，能够将2维和3维空间结构加工出各种精密形状和结构，因此微孔加工是微机电系统制造领域应用最广泛的技术。

微孔加工通常指微孔切削技术，它是一种基于切削原理的新型精密切削技术，适用于加工表面粗糙度低、表面精度高、高精度、小孔芯的微细结构。它采用专门的变速箱和钻头组合，控制高速切削过程，所加工的微孔的形状和尺寸则完全取决于被加工物料的性质。在这个过程中，加工速度必须控制得很精确，有助于保持孔的精度。

微孔加工有多种形式，若采用激光方式加工，激光可以直接烧穿金属，对精度要求不高的情况下，可以在孔芯中燃烧出自由形状的孔。采用电解加工技术时，将可以通过电流加热熔融金属，然后利用定向流体的作用加工出前回孔的精度和形状等特定要求。此外，微波真空式加工技术也可以用于快速加工出高精度的孔芯，紧缩口和构件等细部结构形状。

今天，微孔加工技术已经广泛应用于微机电系统的设计和制造，它的发展为微机电系统的性能提供了极高的可靠性。未来，这项技术仍有很多潜力能够推动微机电系统的发展，不断开发出更多小型、重量轻、高效、可靠的微机电系统产品。